滨州真空|天成【****产品】|超高真空

减少碎片的解决方案及措施

从以上分析可知，晶片碎片与放电气体流量、溅射沉积功率、加热温度等工艺条件有关。因此在保证其他条件不变的情况下，超高真空，分别作了以下三个实验加以验证：

(1)减小沉积功率从60％→30％，延长沉积时间；

(2)降低加热温度，滨州真空，300℃→常温；

(3)放电气体压力从15．0 millitorr以上→7．5-8．5 millitorr。

真空泵油的选择要求

1、真空泵油的密封性

真空泵油需求具有适合的粘度，非标真空系统，在低温下能使真空泵疾速启动，****高真空，在高温下真空泵油能具有良好的密封性，在泵内真空泵油具有较低的温升。不含有轻质的易挥发组分，降低运用过程中真空泵的返油率。

2、真空泵油的饱和蒸汽压

饱和蒸汽压是真空泵油较关键的指标之一。在恒温的密闭容器中，当汽液两相到达动态均衡时的压力称谓饱和蒸汽压。