真空炉,黔东南真空,诺思【好品质】

真空系统包括机械泵、低温泵、粗抽阀、前级阀、闸板阀、以及检测真空度的真空计。

相比较原来常用的机械油泵，黔东南真空，可以杜绝油泵中的油气进入真空室，污染基片，降低薄膜与基片的附着力。通常在干泵抽到6.5Pa以下后，再打开闸板阀，用低温泵抽高真空，低温泵的特点是抽速大，尤其是除水蒸汽的能力非常强。

溅射镀膜系统由直流电源、靶材、冷却水、永磁铁、基片加热装置、挡板、屏蔽层等组成。这是磁控溅射台的核心部分。

基片加热装置能除掉基片上的水蒸气等杂质，可以****薄膜与基片的附着力，另外对于某些金属，合适的温度能****薄膜的质量。

磁控溅射镀膜的特点：

磁控溅射镀膜技术通过磁场的加入，改变并延长电子的运动轨迹，使其能与*气充分的碰撞，电离出更多的Ar 轰击靶材，真空炉，从而****了溅射速率；受到正交电场和磁场共同作用的电子，在能量基本耗尽时，真空炉，才沉积到基片上，避免了基片的温度上升。

这就造就了磁控溅射的两大优点：溅射速率高，基片温度低。另外，通过磁控溅射工艺得到的薄膜与基片的附着力强，薄膜的牢固度很强。

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。

因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。

真空(VD)系统是炉外精炼设备的关键设备之一，其主要功能是生产****产品和高附加值产品，真空炉，满足市场需求，提高企业的经济效益，真空泵是真空系统的核心部件。