金鑫得(多图)-赣州高温烧解技术

真空热压炉操作规程及注意事项

一、准备

打开冷水机开关，否则设备会由于水压过低报警。

二、打开电源开关

通电前，需要检查各开关状态：

1、升温方式应置于“手动”档，功率调节逆时针旋转到底；

2、加压“升停降”拨动开关是否处于停的位置，加压电位器是否旋到z小；

以上检查无误后，先打开主电源开关，再打开次电源开关。

三、开炉进样品

炉子不用时一般处于真空状态，使用前应先观察炉子的真空状态若处于真空，先通过进

气阀缓缓对炉体进行充气到常压，然后用干顶将炉盖打开，取出两个盖子，将待烧样品放入

炉体。若进行不加压烧结，一定不要忘记内外两保温盖都必须盖上，否则温度可能升不上去；

若要进行加热烧结必须将****外层保温盖中间的小盖以及内层保温盖拿掉方可进行实验。

注意：放样品时一定要小心不能碰触发热体以免发热体和炉壳之间发生短路。

真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体*设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。

特别提醒：

1、由于模具一般由用户自备，模具材料基本上选用高纯石墨，其耐压****限为40MPa，建议用户使用在30MPa以下比较安全，加压前应计算模具上、下冲头的面积，再换算成压力，具体公式如下：

系统允许加压（吨）=上或下冲头面积×30MPa

如预先不计算盲目加压导致模具、压块、发热体、保温屏等石墨制品损坏，本公司概不负责。

2、热电偶为钨铼型，使用过会发脆，不能接触。如损坏应及时更换。其型号是W2型。

3、冬天应注意循环水的保暖问题，否则易发生水管爆裂。

4、使用后炉体应保持真空，因炉内保温层易受潮，保真空这样下次抽真空会快些。

5、因设备较复杂，建议专人使用，高温烧解技术，专人负责，对新手严格实行用前培训，用后检查，操作使用要有记录等设备使用规定。

粉末冶金的真空烧结炉是一个时变性、大滞后、非线性加热系统，由于其本身物理、化学机理的复杂性，影响因素众多，难以获得****数学模型。当参数变化较大、控制精度要求较高时，一般PID控制效果很难令人满意。模糊控制不需要系统给出****的数学模型，根据人的实际经验制定控制规则，做出控制决策表，系统根据决策表进行控制，特别适合烧结炉这类复杂的工业生产对象。烧结过程中影响制品质量的主要因素是烧结温度和烧结时间，特别对温度的要求十分苛刻，温差一般不允许超过给定值的±3℃~5℃，因此必须加以严格控制[1~3]。