硅片片盒清洗机

主要功能:本设备主要手动/自动搬运方式,通过对片盒化学液体浸泡、冲洗、*洗、鼓泡等方式进行处理,从而达到一个用户要求的效果

设备型号:CSE-SC-N259

整机尺寸(参考):约1700mm(L)*1400mm(W)*2000mm(H)  (该设备非标定制)

设备组成:该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成

设备描述:此装置是一个手动的处理设备

设备前上方有各阀门,工艺流程的控制按钮、指示灯、触摸屏(PROFACE/OMRON)等,操作方便

主体材料:德国进口10mmPP板,不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐

台面板为德国10mmPP板

DIW管辂及构件采用日本进口clean-PVC管材,需满足18MW去离子水水质要求

采用*生产加工,焊接组装均在万级净化间内完成

排风:位于机台后上部

安全考虑:1设有EMO(急停装置)       2强电弱点隔离      3所有电磁阀均高于工作槽体工作液面

      4设备排风口加负压检测表        5设备三层防漏、,漏盘倾斜、漏液报警、设备整体置于防漏托盘内