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接近式*：掩膜板与光刻胶基底层保留一个微小的缝隙，Gap大约为0～200μm。可以有效避免与光刻胶直接接触而引起的掩膜板损伤，使掩膜和光刻胶基底能耐久使用；掩模寿命长（可提高10 倍以上），图形缺陷少。接近式在现代光刻工艺中应用较为广泛。

投影式*：在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现*。一般掩膜板的尺寸会以需要转移图形的4倍制作。优点：提高了分辨率：掩膜板的制作更加容易：掩膜板上的缺陷影响减小。

东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源*机研发制造的企业之一，是专注于冷光源精密*机系统的现代化企业。首先我们从UV-LED平行*机的工作原理分析，*机是通过*灯发射的紫外线光束穿透*玻璃或压克力匀光照在固定在玻璃台面上的菲林，合川机械供应商，紫外光束通过菲林的特殊阴影使夹在中间基板上面投上密如蛛网的电路从而进入下一道工序.那么在这个工作过程中我们可以清楚的看到迅速*的透过紫外线光束，就是尽快完成*的关键因素.


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对准和*(A＆E)：保证器件和电路正常工作的决定性因素是图形的准确对准，以及光刻胶上*的图形尺寸的形成。所以，合川机械设备，涂好光刻胶后，合川机械，首先是把所需图形在晶圆表面上准确*或对准。第二步是通过*将图形转移到光刻胶涂层上。

显影：显影是指把掩膜版图案复到光刻胶上。

后烘(坚膜)：经显影以后的胶膜发生了软化、膨胀，合川机械厂商，胶膜与硅片表面粘附力下降。为了保证下一道刻蚀工序能顺利进行，使光刻胶和晶圆表面更好地粘结，必须继续蒸发溶剂以固化光刻胶。

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