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视频作者:苏州振鑫焱光伏科技有限公司





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收购碎电池片的方式

电池片切开:将单晶硅棒切割成具备*几何图形规格的薄硅片。此全过程中造成的硅粉选用水淋,造成污水和硅渣。

电池片淬火:双工装夹具热氧化炉经N2吹扫后,用红外线加温至300~500℃,硅片表层和co2产生反映,使硅片表层产生sio2保护层厚度。

电池片倒角:将淬火的硅片开展整修成圆弧状,避免硅片边沿裂开及晶格常数缺点造成,提升磊晶层及光阻层的平整度。此全过程中造成的硅粉选用水淋,造成污水和硅渣。




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PECVD

PE 目的

在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,减少反射,氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。

其化学反应可以简单写成 : SiH 4 NH 3 =SiN:H 3H 2 。

基本 原理

PECVD 技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴*上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。 PECVD 方法区别于其它 CVD 方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,它们可以提供化学气相沉积过程所需的*能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性很高的各种化学基团,因而显著降低 CVD 薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的 CVD 过程得以在低温下实现。

基本特征

1. 薄膜沉积工艺的低温化( lt; 450 ℃ )。

2. 节省能源,库存硅料回收,降低成本。

3. 提高产能。

4. 减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减。

扩散方式

PE 设备有两类:平板式和管式。

按反应方式分为:直接式(岛津)和间接式( Roth & Rau )。

直接式:基片位于一个电*上,直接接触等离子体。

间接式:基片不接触激发电*。 在微波激发等离子的设备里,等离子产生在反应腔之外,然后由石英管导入反应腔中。在这种设备里微波只激发 NH3 ,而 SiH4 直接进入反应腔。间接 PECVD 的沉积速率比直接的要高很多,这对大规模生产尤其重要。





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7、迅速煅烧

历经油墨印刷后的硅片,不可以立即应用,须经烧结炉迅速煅烧,将有机化学环氧树脂黏合剂点燃掉,剩余基本上纯碎的、因为玻璃质*而密合在硅片上的银电级。当银电级和结晶硅在溫度超过共晶溫度时,结晶硅分子以必须的占比融进到熔化的银金属电*中来,进而产生上下左右电级的欧姆接触,提升电池片的开路电压和填充因子2个重要主要参数,使其具备电阻器特点,以提升电池片的变换*。烧结炉分成预煅烧、煅烧、减温水冷却3个环节。预煅烧环节目地是使料浆中的高分子材料黏合剂溶解、点燃掉,此环节溫度渐渐地升高;煅烧环节中煅烧身体进行各种各样物理学反映,产生电阻器膜结构工程,使其真实具备电阻器特点,该环节溫度超过谷值;减温水冷却环节,夹层玻璃水冷却硬底化并凝结,使电阻器膜结构工程固定不动地黏附于基片上。




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