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通常扩散泵的性能是以*限真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。

1.*限真空

如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,*限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa,起始压力正好是机械泵的*限压力,水环真空泵维修,因此,油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵,将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。

2.大反压强

大反压强是指扩散泵所允许的前置压强大值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强,则扩散泵就不能正常工作。

3.抽气速率

扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。

4.设置冷阱及低温挡板的原因





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扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用进行擦洗,水环真空泵厂家,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。

在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好大门,数分钟后,观察真空度,同时检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。





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扩散泵维修*对系统进行烘烤去气处理。对玻璃系统而言,硬玻璃烘烤温度为400℃~450℃ ,软玻璃为350℃~400℃ 。去气时间视具体要求而定,一般1~2小时。去气完后,真空度仍达不到要求,应使用电离计记P-t曲线,以判断是否漏气。亦可用、酒精等涂抹处,看表针的摆动以发现漏孔。若为去气不良,应进一步烘烤,水环真空泵厂家,加长时间去气。新系统一般要抽较长时间才能达到预期的真空度。真空度老上不去,则要考虑系统设计、安装是否合理,有无死空间,放气源多否,维修时是否带进了脏物,被抽容器是否清洁等其他因素。




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